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常见的真空腔体加工的检漏方法
2019/07/05
真空腔体加工检漏的方法主要有三种，其中氦质谱检漏是真空检漏领域里不可少的一种，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中有较多应用。真空腔体加...+ More
真空扩散泵机组的特点和应用
2019/06/17
真空扩散泵机组的特点是抽气能力大，抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择；并可长时间稳定连续工作。扩散泵系列真空机组被应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物、原...+ More
真空腔体的概述
2019/06/17
这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点是机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳...+ More
真空腔体烘烤
2019/06/04
观察真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3Pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时...+ More
真空腔体的制作
2019/06/04
焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量，通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气，以防止熔...+ More
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