真空腔体加工检漏的方法主要有三种，其中氦质谱检漏是真空检漏领域里不可少的一种，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中有较多应用。
真空腔体加工检漏主要有三种：氦质谱检漏，真空封泥检测法，真空计检漏法。下面就来详细的介绍下这三种方法。
一、氦质谱检漏
在真空检漏中有很多应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。其中呢，喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种方法。
二、真空封泥检测法
用真空泥封住可疑的漏点，此时要注意观察真空度的变化，如果贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又会下降，这说明就是一个漏点哦。然而，这个方法在实际检测中用的比较少。
三、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用气体或者液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实际应用中也是比较常用的检漏方法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反应比较慢，要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦，氩，酒精等。
以上呢就是比较常用的三种真空腔体加工检漏的方法，大家呢也可以根据实际需要选择适合的方法。
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