真空腔体加工检漏的方法主要有三种，其中氦质谱检漏该技能是真空检漏领域里不可少的一种技能，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了较多应用。
很多人问小编真空腔体加工检漏的方法，小编就在这里介绍下，真空腔体加工检漏主要有三种：氦质谱检漏，真空封泥检测法，真空计检漏法。下面就来详细的介绍下这三种方法。
该检漏方法是真空检漏领域里不可少的一种技能，因检漏效率高，操作简单，仪器反应灵敏，精度高，不容易受到其他气体干扰，在真空检漏中得到了很多应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。其中呢，喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种方法。
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