有些真空工艺会产生大量的灰尘，如果灰尘随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔造成磨损和破坏，堵塞油路或使泵无法运行，如果灰尘进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因此尘埃的规避和过滤己成为增加
真空腔体的使用寿命，增加生产率的关键问题，在有尘埃的真空系统中，要采用尘埃过滤器。
在灰尘量较少时，可以由泵油过滤系统滤除，但灰尘量较大时，为不让真空泵损坏，让真空泵的正常运转要使用除尘器。常用尘埃过滤方式有以下几种：
（1）旋风离心式。进气口与筒体成偏心放置，尘埃随气流旋转，因离心力作用而沉降在过滤器的底部。
（2）油淋式。在油泵的作用下，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互作用吸附，混在气流中的尘埃与油一起沉降至油池。
（3）油湿介质粘附式。尘埃在气流作用下碰撞用真空泵油浸湿的介质表面而被粘附，常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。
（4）介质阻挡式。利用介质的机械阻挡作用过滤尘埃，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。
（5）静电吸附式。利用真空中气辉光放电形成等离子体，尘埃在等离子体中附着电荷，在电场力作用下被驱向电极表面而被捕集。
（6）混合式。将以上几种过滤形式进行组合形成混合的过滤形式。
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