在电工产品行业如变压器、互感器、电容器等真空干燥的工艺过程中，要求真空腔体在某一特定压力范围能抽除大量的水蒸气和溶剂，而且在干燥终止时，要达到较低的压力。
比如一台中型变压器，其中绝缘材料的含水量达400～500 kg，整个干燥周期为70h，要求真空系统在45 mbar的入口压力下，在48h内抽除90%～95%的含水量，即每小时蒸气的能力要在15kg左右，而且在干燥结束后仍然恢复到原有的压力10-2 mbar。
一、蒸汽处理装置原理
（1）在真空状态下，当水或蒸汽的温度高于沸点时，它们是以气体状态进入泵腔。
（2）滑阀泵本身是一个加热源，液环泵是给滑阀泵的分离器提供一个低压，所以排出到分离器的水或其他蒸汽亦是处在真空状态，而且温度高到可以使它们保持在气体状态，微小的液滴都会在分离器内被蒸发。
（3）排到液环泵的水或其他蒸汽，由于液环泵内的温度比较低，它们被冷凝后成为密封液的一部分。
为了不让蒸汽在泵内被冷凝，这种泵的油温要够高，一般设定在60～75℃范围，而高于80℃的油温会使真空泵油被氧化，这个所要求的油温可以通过自动调节进人到滑阀泵的冷却水量来控制。
假如在处理水蒸气时，滑阀泵工作在65℃，则安装在滑阀泵排气管道上的真空溢流阀要设定在15 000～20 000 Pa，即低于水在65℃下的饱和蒸汽压。
油泵在真空状态下要能够正常运行，油压要保持在0.2～0.4 MPa，连续供油。
二、蒸汽处理装置优点
1、能处理大量可凝性气体或挥发性气体。
2、被抽蒸汽不会在泵中被冷凝，减少了对金属表面的腐蚀。
3、不让油污染，换油次数大大减少，运行成本减少。
4、消掉了由于油被污染所造成的性能减少现象。
5、在湿式工艺中能维持低的工作压力。
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